반도체 검사 장비 진동 특성 및 진동 제어

반도체 검사 장비는 나노 단위 패턴과 미세 결함을 측정하기 때문에 진동에 매우 민감한 장비로 장비 성능에 직결됩니다.

진동에 민감하기 때문에 진동제어는 필수적이고, 당사는 해당 진동 특성에 맞는 진동 제어 기술 보유하고 있으며 각 환경에 맞는 솔루션을 제공하고 있습니다.

출처: KLA-Surfscan SP7 (https://www.kla.com)

1. 검사 장비가 진동에 민감한 이유

검사 장비는 고배율 광학계, 전자빔 발생장치, 나노 스케일 위치제어 스테이지 등으로 구성되며 이러한 모듈은 미세한 진동에도 초점 이동, 이미지 흔들림, 스캔 라인 왜곡과 같은 문제가 발생한다.

특히 전자빔 기반 장비는 빔의 안정성이 곧 해상도로 직결되기 때문에, 외부 환경에서 발생하는 마이크로 진동뿐 아니라 내부 장비에서 발생하는 자가진동도 큰 영향을 미친다.

2. 진동 발생 원인

내부적인 원인으로 스테이지의 속도의 급격한 변화, 모터, 내부 공조 시스템, 펌프 진동 등으로 인해 장비 프레임 및 모듈에 전달되어 변위를 증가시켜 해상도를 저하시킨다.

외부적인 원인으로 Access Floor의 공진, UT설비의 진동, 주변 보행 및 카트 이동에 따른 진동, 건축 구조물의 고유 진동 등으로 인해 검사 장비의 측정 품질에 영향을 준다.

3. 진동 제어 방법

제진대 및 방진 제품 적용으로 진동 제어 가능하다. 방진 제품은 Active, passive로 나뉘며 정밀한 장비의 경우 Passive제품 사용이 필수적이다. (http://www.selma.co.kr/?p_id=0301)

구조보강으로 진동 제어 가능하다. 독립적 구조 및 추가 빔 설치로 인해 구조 강성 높인다.

4. 결론

검사 장비의 품질을 위해 진동 제어는 필수적이다. 장비를 사용하는 환경마다 진동 특성에 맞는 진동 저감 대책이 필요하고 SELMA의 진동 제어 기술을 각 환경에 적용한 진동 저감 대책을 통해 진동 문제를 개선하여 장비 성능 문제를 해결할 수 있습니다.

해당 내용 외 별도 필요시 온라인 문의 또는 유선 문의 (www.selma.co.kr)

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