진동기준이란?

VC-C 기준은 1/3옥타브 밴드로 표시하는 RMS 속도(velocity, µm/s) 기준이며, 일반적으로 12.5 µm/s 수준이다.

왜 진동기준을 만족해야하는가?

반도체 장비들은 Fab안에 있고, Fab에서는 공조 및 배관 설치를 위해 Access Floor를 설치하기 때문에 바닥 구조가 약하여 진동에 취약하다.

최근 정밀장비들의 스펙이 올라가면서 나노미터 수준의 정밀도를 요구하기 때문에 미세한 진동에도 영향을 받아 오작동, 불량, 오차 등 문제가 발생할 수 있다.

장비회사에서 제시하는 진동 기준을 만족해야 장비를 정상 운용할 수 있고, 수율이 올라가기 때문에 진동 기준을 만족해야 한다.

VC-C를 만족하기 위한 방법은?

해석적 방법

건축 구조 모델링 후 동적 특성 해석 통한 결과값을 분석하여 구조적 동적 특성을 파악하고 진동 저감 대책을 수립한다.

실험적 방법

현장에서 실제 진동 및 동특성을 측정하여 파악하고, 실험 Data를 분석하여 진동 저감 대책을 수립한다.

해석적 방법과 실험적 방법으로 찾은 솔루션을 통해 진동 저감 대책을 수립한다.

건축 구조 설계

-초기 설계 시 설계 및 해석을 통하여 건축 구조의 강성을 확보하여 진동 수준을 높인다.

제진기초 설치

-외부 진동 영향을 받지 않도록 독립적인 구조를 설계, 설치하여 하부 바닥 및 격자보의 진동을 증폭 없이 제진대 상부에 구현한다.

방진시스템 설치

-높은 방진 효율과 낮은 고유진동수의 방진 성능을 가진 제품을 설치하여 장비에 전달되는 진동을 감쇠시켜 진동 수준을 확보한다.

제품 소개 링크 : http://www.selma.co.kr/?p_id=0301

장비 위치 변경

-건축 구조 중 진동에 유리한 위치로 이동한다. 건물 최하층, 기둥 옆, girder 등 기존 위치보다 진동 수준이 좋은 곳으로 위치를 변경한다.

강성조절장치 설치

-진동에 취약한 구조물에 강성조절장치를 설치하여 해당 부분의 강성을 증가시켜 진동을 저감시킨다.

제품 소개 링크 : http://www.selma.co.kr/?p_id=0301

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